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白光干涉儀

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白光干涉儀

該產品由膜厚儀主機、上位機 PC 軟件、光纖組成。用一束準單色平行光照射多層薄膜，光波會在第 1 到 n 層之間來回多次折射、反射進而形成多個相干光束。這些相干光束進行相干疊加后，攜帶多層薄膜的相干信號并沿原路返回。不同波長的準單色光照射薄膜后，攜帶的干涉信號不一樣。如果用一束含有多種波長的準單色光照射薄膜后，提取各個波段的干涉信號，通過 OCD 自主知識產權的算法進行反演計算，便可獲得每一層薄膜材料...

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