2022-07-04
目前3D領域中，白光干涉儀是精度最高的測量儀器之一，白光干涉儀是利用光學干涉原理研制開發的超精細表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。
它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
除了測量精度優勢外，白光干涉測量系統還擁有非接觸式無損測量，10mm超高Z向量程，單次4mm大視野FOV掃描范圍，支持拼接大范圍掃描等領先功能。白光干涉測量系統可以對納米級加工表面完成如表面粗糙度、臺階高度、平面度、翹曲度、曲率半徑和瑕疵缺陷的分析。
1.表面粗糙度
表面粗糙度是衡量表面質量的關鍵指標之一，通常包含Sa/Sv/Sp/Sz/Sq等參數。鏡面磨削工藝可將樣品表面的粗糙度加工至Sa10納米。
2.表面形貌與臺階高度
高精度的表面形貌數據不僅可以用于觀察樣品的表面特性，分析截面和臺階高度，還可支持微觀力學行為的分析。
3.平面度
平面度是評估樣品表面與理想平面差距的重要參數之一，通常包含FLTt，FLTp,FLTv和FLTq。
4.翹曲度
翹曲度反應樣品表面的回彈特性，該參數與平面度的概念非常類似，但在計算方法上略有不同。翹曲度的計算通常以樣品中心區域高度為基準，分別對樣品邊緣平均分布的4個，或者6個，或者9個區域進行采樣，得到的最大高度差即為翹曲度數值。
5.曲率半徑
曲率半徑是光學透鏡設計與制造的一個重要參數，使用白光干涉測量系統可以得到透鏡的表面形貌，并可計算出曲率半徑。
6.表面缺陷
2D方法很難識別一些高精度表面的缺陷，此時可考慮3D形貌的方式采集并識別缺陷。由于白光干涉儀測量系統在Z方向有0.1nm的分辨率，因此任何細小的缺陷都可以形成3D圖像。
