2022-07-14
要求：測(cè)量薄膜下石墨的厚度
如上圖所示，首先先圈出被測(cè)量的區(qū)域，薄膜上的油墨厚度測(cè)量，盡量選擇石墨附近的油墨進(jìn)行測(cè)量，由于測(cè)量物體的不透明的，為了確保精度，采用的是雙軸對(duì)射平臺(tái)
雙軸對(duì)射平臺(tái)，是采用兩個(gè)側(cè)頭，通過(guò)對(duì)心的方式，是兩個(gè)探頭的光斑重合，從而保證被測(cè)區(qū)域的精度。
（被測(cè)區(qū)域精度）
(平均值)
通過(guò)上圖就得出4個(gè)產(chǎn)品的區(qū)域精度，產(chǎn)品1位置1重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.135微米，位置2重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.053微米，位置3重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.073微米，位置4重復(fù)13次的動(dòng)態(tài)重復(fù)精度為0.175微米。光譜共焦傳感器的測(cè)量值會(huì)與接觸式高度計(jì)的測(cè)量值有一個(gè)固定偏差，可以通過(guò)增加固定補(bǔ)償值消除真值的差距
本次采用立儀科技D15A32R02S3的側(cè)頭搭配雙通道控制器，其側(cè)頭的最大量程為0.65MM，分辨率2nm，最小光斑直徑3.5um，工作距離6mm，最大測(cè)量角度±32°
