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半導體行業
2021-12-24
晶圓,硅片平面度,厚度測量
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光譜共焦位移傳感器D系列
全新結構設計 D系列采用全新結構設計,產品性能提高同時, 體積大大減小,從而滿足了更多安裝空間限制的場景 高效成本 采用多功能小體積設計,僅需一個控制就可以最 多支持8臺測量探頭同步工作,大大節約使用和空間成本 極高采樣頻率 D系列最高可支持8通道同步采樣 通道之間的同步時間誤差小于1ns 亞微米級分辨率 極高分辨率可以輕松應對各種物體 表面材質,即使是透明和漫反射面,也能準確分辨表面信息
光譜共焦位移傳感器 D65A52 系列鏡頭
鏡頭:外徑D最大設計角度A最大量程R *最小光斑直徑S*(C50光纖)工作距離C分辨率 *總長L單位mm D65A52系列:直徑65mm,角度±52°
光譜共焦位移傳感器 D27A29 系列鏡頭
鏡頭:外徑D最大設計角度A最大量程R *最小光斑直徑S*(C50光纖)工作距離C分辨率 *總長L單位mm D27A29系列:直徑27mm,角度±29°
光譜共焦位移傳感器 D15A12 系列鏡頭
鏡頭:外徑D最大設計角度A最大量程R *最小光斑直徑S*(C50光纖)工作距離C分辨率 *總長L單位mm D8A15系列:直徑15mm,角度±12°
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